期刊刊名：工程應用技術學刊 卷期：1卷2期
篇名出版日期：2012年12月1日
作者：吳明勳 ,楊政穎,許明傑,李鈞平
語言：Chinese
關鍵字：快速成型,微泵浦,壓電片蜂鳴器,Rapid Prototyping（RP）,Micropump,Piezoelectric plate
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摘要： 本研究利用精度為 16μm之快速成型機製作漸縮/漸擴型無閥門微泵浦之微流道結構，並將壓電片蜂鳴器以數種不同方式與其黏合。以電壓 20~80Vpp、頻率 40~190Hz之方波或弦波來驅動此微泵浦用以輸送流體（水）。此無閥門微泵浦之漸縮 /漸擴管微流道長為 2400μm、深 250μm、流道之漸縮端寬 200μm，擴散角度則為 8°，成功的黏合方式包括有：AB膠黏合、雙面膠黏合、雙面膠搭配 AB膠黏合。其中以第三種最為穩定且效率最佳，以電壓 20Vpp之方波即可驅動微泵浦輸送流體；此電壓下，最佳操作頻率為 110Hz，最大流量為 60.3μl/min，最大背壓為 68.6Pa。而當以 80Vpp之方波驅動時，最佳頻率為 130Hz，最大流量約為 530μl/min，最大背壓為 685Pa。由於快速成型技術製造微泵浦元件無需使用無塵室，所使用設備、耗材相對而言較為便宜且製作程序簡便。此一製作方式對研發微泵浦時尺寸之修改具有發展價值。
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