期刊刊名：工程應用技術學刊 卷期：1卷2期
篇名出版日期：2012年12月1日
作者：楊政穎,吳明勳,張晨鋒
語言：Chinese
關鍵字：快速成型,快速模具,壓電式無閥門微泵浦,Rapid Prototyping （RP）, Rapid Tooling （RT）, PZT valveless micropump
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摘要： 本文利用快速成型與快速模具技術製作壓電式無閥門微泵浦，主要的目的在於建立製作程序並探討其性能。首先利用 3D列印技術之液態類快速成型系統，以光硬化樹脂為材料，製作微流道結構之原型，並將壓電片蜂鳴器與此微流道結構以適當方式黏合。此微泵浦原型機可以成功地以電壓 20~80Vpp、頻率 40~190Hz之方波或弦波來驅動並輸送流體。接著利用 RP微流道結構為母型，並利用矽膠模具，以 ABS為材料製作相同尺寸之微流道結構，再將壓電片蜂鳴器與其黏合。此 ABS微泵浦可以成功地以電壓 20~80Vpp、頻率 40~300Hz之方波或弦波來驅動並輸送流體。本研究所製作的微泵浦屬於具漸張／漸縮管之無閥門微泵浦，其漸張／漸縮管之漸縮端寬 200μm，擴散角度 8°、微流道長為 2400μm、深 250μm。壓電片蜂鳴器與微流道結構間採用雙面膠搭配 AB膠黏合。對光硬化樹脂為材料之微泵浦原型機而言，以 80Vpp之方波驅動時，最佳頻率約為 130Hz，最大流量約為 530μl/min，最大背壓為 685Pa。對 ABS微泵浦而言，以 80Vpp之方波驅動時，最佳頻率約為 140Hz，最大流量約為 815.6μl/min，最大背壓為 1037Pa。由於快速成型與快速模具技術製作微泵浦元件無需使用無塵室，所使用設備、耗材相對而言較為便宜，其製作程序簡便。此一製作方式具有發展價值。
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