期刊刊名：修平學報 卷期：29期
篇名出版日期：2014年9月1日
作者：崔海平,顏炳華,楊曜光
語言：Chinese
關鍵字：微電化學銑削,磁場,精微螺旋電極,微孔,微流道, 3D 微結構, Electrochemical micro milling, magnetic field, micro helical tool, micro channel, 3D micro structures
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摘要： 本研究提出一種新穎的加工方式，利用磁場輔助精微螺旋電極，進行微電化學銑削 (Electrochemical micro milling, EMM)，以製作微孔、微流道及3D 微結構。當磁場作用於精微螺旋電極所帶動之電解液時，產生之勞倫茲力有助於電解液的更新及加工效率的提升。根據實驗的結果；在磁場輔助之下，微孔於磁鐵0°擺放的微孔孔徑較180°擺放為小，且在電極不旋轉的情況下，向上進給加工確實可以改善擴孔量，並減少孔入口端周遭的雜散電流腐蝕區域面積。而槽道加工進給率將可由5μm/sec 提高到8μm/sec。除此之外，溝槽的寬度及深度也將各自減少至344μm 及98μm。而溝槽之表面粗糙度亦由Ra 1.26μm (Rmax 6.5μm)降低到Ra 0.54μm (Rmax 4.47μm)。研究結果顯示，磁場輔助電化學加工將可提升加工效率、精度及表面粗糙度，達到節能減碳之目的。
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