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柯富祥
柯富祥
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利用電子束微影技術完成奈米尺寸圖案=Implementing a Nano-Scale Pattern by the Electron-Beam Micro-lithography Technique
羅世嵩,黃俊達,游信強,朱育宏,柯富祥
大葉學報
13卷1期
1992/12/1